檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "微影製程".ckeyword (精準) and year="105"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
厚膜光阻 (Thick-film photoresist)可用於製作高深寬比的結構,普遍廣泛應用於LIGA微機械加工技術,製作MEMS微電機系統元件或微結構等。負型厚膜光阻可應用於積體電路後段IC封…
2
本實驗利用原子轉移自由基聚合(Atom Transfer Radical Polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓製備表面起始聚甲基丙烯酸 2-(二乙氨基)乙酯(Poly(2-(Di…
3
本研究利用半導體微機械加工製程技術製備植入型微電極陣列感測探針,其中包含光罩設計與半導體加工製程兩大重點方向,在光罩設計方面,我們以繪圖軟體Auto CAD設計繪製光罩上元件圖樣,本製程包含三道光罩…